Kleindiek Nanotechnik 奈米探針/奈米微調儀/微型加熱冷卻台/四軸平台 ACT 產品介紹

PS-8 SEM用奈米探針平台

超精巧的Prober Shuttle平台可以安裝八個次世代MM4奈米微調儀以及一個三軸子平台。
27個軸中的每一個軸都可以以極高的精度定位。探針的Z驅動器可向上旋轉90°，以便輕鬆連接碰觸樣品以及快速更換針尖。
每個微調儀都配備有一個低雜訊的三軸連接器，用於測量低電流。
整個平台可通過6吋的裝載鎖定裝置置入SEM或SEM / FIB的真空室，從而縮短了操作循環時間並提高了樣品產量。
（可選配）高級探針工具套件提供Prober Shuttle補充升級方案，該套件為高端探針應用程序提供了許多其他功能。

說明

說明

技術規格

Prober Shuttle平台的尺寸

直徑140mm
高度10mm

子平台

X和Y行程9mm
Z行程0.7mm

探針

行程X 4.5mm
行程Y 5mm
Z行程90度

所有運動軸

分辨率
線性軸<0.5 nm
旋轉軸<8 nm
速度高達1 mm / s
漂移<1 nm / min
笛卡爾坐標系運動
無反沖或反轉
粗細位移皆在單驅動器中

測量靈敏度

雜訊：20 fA @ 1 Hz
絕緣洩漏電流（探針）：<50 fA / V
絕緣洩漏電流（樣品）：<150 fA / V
信號導體電阻：<5Ω
最高電壓：100 V
最大電流：100 mA

系統功能

所有在大氣中的硬體均安裝在19吋機架中
電子組件在操作員視野之外
整個系統通過APT UI進行控制
從法蘭到機架的清潔電纜管理
從FIB側邊進行探測以用於電路編輯應用
非磁性設計
應用在7nm及以上

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