Kleindiek Nanotechnik 奈米探針/奈米微調儀/微型加熱冷卻台/四軸平台 ACT
產品介紹
Anti Curtaining Table 四軸平台
ACT 維四軸定位工具，使試片在 FIB/SEM 載台上整個傾斜至 FIB 角度時，其可再垂直傾斜 ±90 °
ACT 包含四個運動軸：X (10mm), Z (3mm), 旋轉 (無限制), 傾斜 (±90 °)。
當 ACT 的傾斜軸位於電子束下方，可將試片移到適當位置並抬起至電子束與離子束的交界點，調整試片面方向。
接續以 FIB/SEM 的載台使 ACT 傾斜，此時垂直於離子束的試片利用 ACT 來回擺動試片 (±90 °) ,使其產生 Cross-section 或 TEM 切片。
ACT 包含四個運動軸：X (10mm), Z (3mm), 旋轉 (無限制), 傾斜 (±90 °)。
當 ACT 的傾斜軸位於電子束下方，可將試片移到適當位置並抬起至電子束與離子束的交界點，調整試片面方向。
接續以 FIB/SEM 的載台使 ACT 傾斜，此時垂直於離子束的試片利用 ACT 來回擺動試片 (±90 °) ,使其產生 Cross-section 或 TEM 切片。
說明
技術規格
- X 行程：10mm
- Z 行程：3mm
- R 行程：360°, 無限制
- T 行程：±90°, 帶編碼器
- 絕對精度：T < 0.2° (弧度 3x10-3)
- 重覆性：T < 0.03° (弧度 4x10-4)
- 線性軸分辨率：< 0.05 nm
- 旋轉軸分辨率：< 4x10-7 °(弧度 6.5x10-9)
- 速度：高達 1mm/sec.
- 漂移 < 1.5 nm/min
- 重量：100g
- 無反沖或逆轉
- 一台驅動器即可時線粗調和細調
- 幾乎不受震動影響
