MM3A奈米微調儀X 、Y 方向最小步間距為1nm ,在Z 方向最小步間距為0.25nm 增量。
MM3A 移動速度最快為10mm/S ,MM3A 將大操作空間和高操作精度結合起來,很少產生傳統同類系統所帶有的問題。
MM3A 驅動原理確保在顯微鏡下,較長實驗過程中不存在漂移現象,也沒有傳統微調儀因機械老化所產生的齒輪間隙。而且,MM3A 適合超高真空,不受溫度變化影響。
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