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LEICA 光學 3D 表面測量系統

共軛焦及干涉差系統  DCM8

Leica DCM8 採用了最新的非接觸式三維光學表面測量技術。設計用於提高您的工作效率,它是一款融合了高清晰度共軛焦顯微鏡和干涉測量技術優點的多功能雙核系統。一鍵模式選擇,精密軟體、無移動部件的高解析共軛焦掃描技術確保用戶實現超快速的分析操作。

可通過各種規格的 LEICA 物鏡、電動載台和物鏡鼻輪來對系統進行配置,以便完全適用於您的樣品。為滿足客戶的檔案創建需求,LEICA DCM8 包括1個高解析CCD攝影機和 4 個 LED 光源(RGB和白色)能夠提供最鮮明的真實彩色成像效果。

 

具有更高的精確度和重複性
  • 荷重範圍:0.05-10kgf
  • ISO 和 ASTM 認證的維克氏壓頭
  • 全新 10 倍和 50 倍長工作距離物鏡,用於測量和影像導覽
  • 電動XY載物台180x180mm 載物台(行程110x140mm)
  • 5 百萬畫素全景相機,用於樣品位置導航及掃描拼接
 
快速獲取表面形貌數據

Leica DCM8 採用創新性高解析微顯示掃描技術。由於傳感器頭部未使用運動部件,因此設備能夠實現快速和高重複性的捕捉數據。集成式高解析CCD 攝影機具有較大的視野範圍,能夠觀察較大的樣品面積。對於具有較大面積區域的樣品來說,為獲得無縫隙和精確的表面形貌模型,只需要選擇超快 XY 地形拼接模式即可。

 
獲取高質量的圖像

通過將卓越性能的光學元件與高解析 CCD 攝影機以及紅色、綠色、藍色和白色 LED 光源相結合,Leica DCM8能夠提供具有逼真的高解析彩色圖像。再加上 LED 的連續性,能夠確保每個像素都能夠記錄真實色彩訊息。解析度和對比度提高的結果就是能夠為您的樣品提供如水晶般清晰透徹的圖像。 

 
目前和將來都夠獲得非常可靠的結果

高解析微顯示掃描技術未配置任何運動部件,CCD 攝影機和 4 個 LED 燈均設置在精巧的傳感器頭中。這種創新性設計能夠實現快速、可複製且無雜訊的圖像結果。值得一提的是,設備還具有較高的耐久性,實際上在較長的使用壽命期限內設備幾乎不需要任何維護操作。


常規技術參數
測量原理 非接觸式 3D 雙核光學成像輪廓測定法(共軛焦和干涉測量)
功能 高解析成像、高解析3D形貌、輪廓、坐標、厚度、粗糙度、體積、表面紋理、光譜分析、色彩分析等
對比度模式 高解析共聚焦、高解析干涉測量(PSI、ePSI、VSI)、高解析明視野彩色、明視野、暗視野、即時高解析RGB 共聚焦
樣品高度 標準型:40 mm。可調支架:最高150 mm;根據要求可提供更高的樣品高度
物鏡 共聚焦、明視野和暗視野模式下,放大倍率1.25x 至150x,干涉測量模式下,放大倍率 5x 至 50x
物鏡鼻輪 6 孔手動式物鏡鼻輪/6 孔電動式物鏡鼻輪
载物台掃描範圍(x、y、z) 垂直:z = 40 mm;水平:XY = 100 x 75 mm (標準),或= 300 x 300 mm (最大)。根據要求,可提供更大的載物台
垂直掃描範圍 共軛焦40 mm,PSI20 um,ePSI 100 um,VSI 10 mm
照明 LED 光源:紅色(630 nm),綠色(530 nm),藍色(460 nm) 和白色
圖像採集 CCD黑白傳感器:1360x1024像素(全分辨率);黑白35FPS真彩/共聚焦:3FPS(全分辨率),10FPS(半分辨率),15FPS影像共聚焦
樣品反射率 0.1 – 100 %
尺寸和重量 長x 寬x 高= 573 mm x 390 mm x 569 mm;重量:48 kg
工作條件 溫度:10° 至35° C;相對溼度(RH) < 80 ;海拔高度< 2000 m
防震 主動或被動
再現性(50 x 放大倍率) 共軛焦/VSI:誤差= 0.003 mm (3nm);PSI:誤差= 0.16nm (0.00016 mm)
精確度(20 x 放大倍率) 開環:相對誤差< 3% ;閉環:誤差< 20 nm

共聚焦模式
物镜放大倍率 1..25x 2.5x´ 5x 10x 20x 50x 100x 150x
數值孔徑 0.04 0.07 0.15 0.3 0.5 0.9 0.95 0.95
視場(µm) 14032 x 10560 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88
光學解析度(X/Y) (µm) 3.5 2 0.94 0.47 0.28 0.16 0.14 0.14
縱向解析度(nm) <3000 <350 <150 <30 <15 <5 <2 <2
典型測量時間 3 - 5 s

干涉差測量模式
物镜放大倍率 5x 10x 20x 50x
數值孔徑 0.15 0.3 0.4 0.5
視場(µm) 3508 x 2640 1754 x 1320 677 x 660 351 x 264
光學分辨率(藍光)(X/Y)(µm) 0.94 0.47 0.35 0.28
光學分辨率(白光)(X/Y)(µm) 1.12 0.56 0.42 0.33
縱向分辨率(nm) PSI <0.1; ePSI <1.0; ALL <3.0
垂直掃描速度(µm/s) VSI / ePSI:2.4-17μm/ s
典型測量時間 PSI:3 – 6 s ;VSI:10 s;ePSI:30 s