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108C Auto 自動碳塗層機

108C Auto 自動碳塗層機

108C 自動蒸碳鍍膜機是用於在 SEM X 射線分析之前對非導電樣品進行導電塗層的最先進樣品鍍膜機之一。獨特的反饋控制碳棒蒸發系統可進行 20nm 左右厚度的多次蒸發,而無需進行碳棒修整或調整。

108C Auto 中使用的高純度階梯式碳棒可在高放大倍率下提供出色的塗層質量。操作簡單,真空周期非常快。如另外選擇MTM-10 高分辨率膜厚測量儀,則允許根據樣品的確切需求量身定制導電碳膜厚度。
說明

108C Auto 自動碳塗層機特色

  1. 使用了新穎的蒸發裝置。電流和電壓由磁頭中的傳感器線監控,以蒸發源作為反饋迴路的一部分進行控制。該供應使常規的碳棒源具有出色的穩定性和可重複性。功耗低,並且具有出色的重啟特性,蒸發源可以“脈衝”或“連續”模式操作。
  2. 提供手動或自動操作選擇。在自動模式下,蒸發源在設定的時間內作為設定的電壓工作。
    只需對編程控制器進行調整,以數位顯示方式顯示電壓和時間。
    在手動模式下,獨特的 108C Auto Carbon Coater 可通過旋轉控制設置輸出電壓,以 “脈衝” 或 “連續” 方式操作,
  3. 可以配備可選的 MTM-10 膜厚測量儀。 碳的分辨率優於 0.1nm,在 15nm 至 25nm 的有用範圍內,使用測量儀和蒸發控制器可使塗層厚度的重覆性優於 5%。

 

 

  108 Auto 108 Manual 108C Auto
腔體尺寸 120mm外徑x 120mm高度(4.75 x 4.75“) 120mm外徑x 120mm高(4.75 x 4.75“) 120 OD x 120mm高(4.75 x 4.75“)
靶材 可配置Au,Au:Pd,Pt,Pt,Pd可選; 直徑57mm x厚0.1mm 可配置Au,Au:Pd,Pt,Pt,Pd可選。直徑57毫米 x 0.1毫米厚  
載物台 可容納12個SEM引腳安裝座;高度可調至60mm
濺鍍電流 微處理器控制,具安全聯鎖,電流可變最大40mA 微處理器控制,具安全聯鎖,電流可變最大40mA  
 
可編程數字控制  
蒸發源  
 
 
 
 
 
 
 
Bradley型碳棒(6.15mm直徑,[1/4“])
重型不銹鋼結構
基於微處理器的反饋迴路,具有遠程電流/電壓感應控制;
安全性由真空度互鎖,最大180A,具有過流保護
濺射源 低壓“超冷”平面磁控管 低壓“超冷”平面磁控管  
 
 
快速更換靶材
環覆式暗區護罩
真空度 真空大氣壓-0.001mb 真空大氣壓-0.01mb
    電流:0-200A
厚度監控 自動停止流程的MTM-20高解析膜厚偵測器(可選) 可選的MTM-10
 
MTM-10高解析膜厚偵測器(可選)
 
或手動終止的MTM-10高解析膜厚偵測器器(可選)
控制方式 自動洩真空和氬氣充氣清洗及進氣控制洩壓   自動蒸發控制,使用編程的電壓和計時器;具有脈衝或連續操作的完全手動操控功能
自動的流程排序 手動的氣體和電流控制 數位計時器(0-9.9秒)
完全手動操作 手動洩壓 數位電壓設置(0.1至5.5V)
精密針閥 精密針閥  
數位計時器(0-300秒),帶暫停功能 數位計時器(0-300秒),帶暫停功能  
自動洩壓    
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