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108 Auto
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108 Manual
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108C Auto
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| 腔體尺寸 |
120mm外徑x 120mm高度(4.75 x 4.75“)
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120mm外徑x 120mm高(4.75 x 4.75“)
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120 OD x 120mm高(4.75 x 4.75“)
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| 靶材 |
可配置Au,Au:Pd,Pt,Pt,Pd可選; 直徑57mm x厚0.1mm
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可配置Au,Au:Pd,Pt,Pt,Pd可選。直徑57毫米 x 0.1毫米厚
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| 載物台 |
可容納12個SEM引腳安裝座;高度可調至60mm
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| 濺鍍電流 |
微處理器控制,具安全聯鎖,電流可變最大40mA
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微處理器控制,具安全聯鎖,電流可變最大40mA
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可編程數字控制
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| 蒸發源 |
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Bradley型碳棒(6.15mm直徑,[1/4“])
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重型不銹鋼結構
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基於微處理器的反饋迴路,具有遠程電流/電壓感應控制;
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安全性由真空度互鎖,最大180A,具有過流保護
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| 濺射源 |
低壓“超冷”平面磁控管
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低壓“超冷”平面磁控管
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快速更換靶材
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環覆式暗區護罩
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| 真空度 |
真空大氣壓-0.001mb
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真空大氣壓-0.01mb
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電流:0-200A
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| 厚度監控 |
自動停止流程的MTM-20高解析膜厚偵測器(可選)
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可選的MTM-10
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MTM-10高解析膜厚偵測器(可選)
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或手動終止的MTM-10高解析膜厚偵測器器(可選)
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| 控制方式 |
自動洩真空和氬氣充氣清洗及進氣控制洩壓
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自動蒸發控制,使用編程的電壓和計時器;具有脈衝或連續操作的完全手動操控功能
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自動的流程排序
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手動的氣體和電流控制
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數位計時器(0-9.9秒)
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完全手動操作
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手動洩壓
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數位電壓設置(0.1至5.5V)
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精密針閥
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精密針閥
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數位計時器(0-300秒),帶暫停功能
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數位計時器(0-300秒),帶暫停功能
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自動洩壓
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