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PS-8 SEM用奈米探針平台

超精巧的Prober Shuttle平台可以安裝八個次世代MM4奈米微調儀以及一個三軸子平台。
27個軸中的每一個軸都可以以極高的精度定位。探針的Z驅動器可向上旋轉90°,以便輕鬆連接碰觸樣品以及快速更換針尖。
每個微調儀都配備有一個低雜訊的三軸連接器,用於測量低電流。
整個平台可通過6吋的裝載鎖定裝置置入SEM或SEM / FIB的真空室,從而縮短了操作循環時間並提高了樣品產量。
(可選配)高級探針工具套件提供Prober Shuttle補充升級方案,該套件為高端探針應用程序提供了許多其他功能。

技術規格

Prober Shuttle平台的尺寸

  • 直徑140mm
  • 高度10mm
 
子平台
  • X和Y行程9mm
  • Z行程0.7mm
 
探針
  • 行程X 4.5mm
  • 行程Y 5mm
  • Z行程90度
 
所有運動軸
  • 分辨率
  • 線性軸<0.5 nm
  • 旋轉軸<8 nm
  • 速度高達1 mm / s
  • 漂移<1 nm / min
  • 笛卡爾坐標系運動
  • 無反沖或反轉
  • 粗細位移皆在單驅動器中
 
測量靈敏度
  • 雜訊:20 fA @ 1 Hz
  • 絕緣洩漏電流(探針):<50 fA / V
  • 絕緣洩漏電流(樣品):<150 fA / V
  • 信號導體電阻:<5Ω
  • 最高電壓:100 V
  • 最大電流:100 mA
 
系統功能
  • 所有在大氣中的硬體均安裝在19吋機架中
  • 電子組件在操作員視野之外
  • 整個系統通過APT UI進行控制
  • 從法蘭到機架的清潔電纜管理
  • 從FIB側邊進行探測以用於電路編輯應用
  • 非磁性設計
  • 應用在7nm及以上