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Anti curtaining table 四軸平台 


ACT  維四軸定位工具,使試片在 FIB/SEM 載台上整個傾斜至 FIB 角度時,其可再垂直傾斜 ±90 °
ACT 包含四個運動軸:X (10mm), Z (3mm), 旋轉 (無限制), 傾斜 (±90 °)。
當 ACT 的傾斜軸位於電子束下方,可將試片移到適當位置並抬起至電子束與離子束的交界點,調整試片面方向。
接續以 FIB/SEM 的載台使 ACT 傾斜,此時垂直於離子束的試片利用 ACT 來回擺動試片 (±90 °) ,使其產生 Cross-section 或 TEM 切片。

技術規格
 

l   X 行程:10mm

l   Z 行程:3mm

l   R 行程:360°, 無限制

l   T 行程:±90°, 帶編碼器

l   絕對精度:T < 0.2° (弧度 3x10-3)

l   重覆性:T < 0.03° (弧度 4x10-4)

l   線性軸分辨率:< 0.05 nm

l   旋轉軸分辨率:< 4x10-7 °(弧度 6.5x10-9)

l   速度:高達 1mm/sec.

l   漂移 < 1.5 nm/min

l   重量:100g

l   無反沖或逆轉

l   一台驅動器即可時線粗調和細調

l   幾乎不受震動影響