Anti Curtaining Table 四軸平台
Anti curtaining table 四軸平台
ACT 維四軸定位工具，使試片在 FIB/SEM 載台上整個傾斜至 FIB 角度時，其可再垂直傾斜 ±90 °
ACT 包含四個運動軸：X (10mm), Z (3mm), 旋轉 (無限制), 傾斜 (±90 °)。
當 ACT 的傾斜軸位於電子束下方，可將試片移到適當位置並抬起至電子束與離子束的交界點，調整試片面方向。
接續以 FIB/SEM 的載台使 ACT 傾斜，此時垂直於離子束的試片利用 ACT 來回擺動試片 (±90 °) ,使其產生 Cross-section 或 TEM 切片。
技術規格
l X 行程：10mm
l Z 行程：3mm
l R 行程：360°, 無限制
l T 行程：±90°, 帶編碼器
l 絕對精度：T < 0.2° (弧度 3x10-3)
l 重覆性：T < 0.03° (弧度 4x10-4)
l 線性軸分辨率：< 0.05 nm
l 旋轉軸分辨率：< 4x10-7 °(弧度 6.5x10-9)
l 速度：高達 1mm/sec.
l 漂移 < 1.5 nm/min
l 重量：100g
l 無反沖或逆轉
l 一台驅動器即可時線粗調和細調
l 幾乎不受震動影響