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UVO-Cleaner 紫外光加臭氧 清洗機


UVO-Cleaner 是使用短波長 UV 輻射的光敏感氧化特性。將經過適當清洗的樣品放在產生臭氧的紫外線源的 5mm 範圍內,可以在不到一分鐘的時間內獲得接近原子潔淨的表面有機汙染分子 ( 如「光阻劑」、「樹脂」、「人類表皮油脂」、「清潔劑殘留物」、「矽油」、「助燃劑」等) 。

經吸收短波長之 UV 輻射 (253.7nm) 即變成激發狀態之分子,再與活性氧原子[O]起反應/結合,即形成易揮發之分子,離開物體表面,如此即達到其清洗效果。
 

UVO-Cleaner 是去除有機汙染物 (Organic Contaminants) 最安全、最有效率的方式.特別是針對「矽晶片」、「砷化鎵」、「石英」、「藍寶石」、「玻璃」、「雲母」、「陶瓷」及「金屬」等材料。
 

UVO-Cleaner 紫外光加臭氧清洗機特色
  • 高強度格柵燈
  • 不銹鋼外殼
  • 經濟實惠
  • 數位計時器提供簡單,可重複的結果
  • 不銹鋼樣品托盤,並可另外選購橡膠墊
  • 高度可調托盤,適用於最大 1 inch / 25 mm 高的基材
  • 自動清潔並改善塗層附著力
  • 氣體介質進氣口
  • 排氣口可另選購臭氧分解器及排氣風扇
 
常見用途
  • 紫外線固化
  • 表面光阻曝光微影
  • 臭氧蝕刻
  • 顯微鏡載玻片
  • 清潔一般鏡片和光學鏡片
  • 薄膜沉積的前處理
  • AFM 探針清潔 / 尖端銳化
  • 改善表面潤濕性
  • 清潔石英和陶瓷表面
  • 半導體表面氧化與製備

 

規格
Model 清洗樣品最大面積 ( 清洗盤大小) W x D 樣品與汞燈距離可調整 (Maximum) UV 光源強度 (mW/cm²) @254nm (from 3/4" 距離)
42 6.75" x 6.5" 1.5" 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈
342 6.75" x 6.5" 4" 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈
*144AX 12" x 12" 3" 25-35 mW-/cm² 柵極式低壓汞燈
*256 16" x 16" 3" 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp
*288A 24" x 12" 3" 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp
*384 24" x 16" 3" 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp
*576 24" x 24" 3" 35-50 mW-/cm² 高效率 Suprasil UV Lamp
附加功能 :
1. 可切換式雙進氣口及調節閥
2. 雙數字顯示計時器可控制清洗及廢氣排放之週期時間
3. 燈管使用時數計時器
4. 附緊急停機裝置

可選購 :
  1. 高功率 Suprasil UV Lamp : 可大幅提升紫外光加臭氧清洗機之清洗效率
  2. 臭氧分解器 (Ozone Killer) : 可分解排放廢氣中之臭氧,且易與清洗機及廢氣排放系統做連結
  3. 臭氧排放風箱 (Blower) : 與臭氧分解器之出風口連接可增強廢氣排放之速率