108 Auto 鍍金機 / 鍍碳機

108 Auto 自動濺射鍍膜機特色

1. 提供全自動或手動操作的選擇。包括自動洩真空和氬氣充氣清洗控制。
2. 在自動模式下，可以通過兩種方式控制設備。可以使用數位計時器來提供可重複的塗層，或者可以使用 MTM-20 高解析膜厚偵測器以所需的厚度終止濺射過程。另外，MTM-10 高分辨率厚度監測儀也可以用於手動停止。
3. 數位顯示濺射電流控制完全獨立於濺射室中的氬氣壓力，以實現一致的濺射速率和最佳的樣品覆蓋率。
4. 高效的直流磁控管在低電壓下運行，以進行“超冷”濺射，從而避免對樣品表面產生不當影響。
5. 單獨的用於進氣控制洩壓，充氣清洗和洩真空，再加上精密的針閥，可確保快速簡便地操作。
6. 靶材可選擇多種材料：Au，Au / Pd，Pt，Pt / Pd（標準配置為Au）。

108 Manual 手動濺射鍍膜機特色

1. 非常適合常規 SEM 樣品製備。它簡潔、經濟且易於操作。它提供了快速的抽氣時間，細緻的顆粒鍍層和不會受到熱影響。
2. 具有全可變電流控制，精密針閥，帶有“暫停”功能的數位顯示處理計時器，可變高度的樣品台，鉸鏈頂板和 O 形環密封真空室。
3. 使用高效的直流磁控管可實現完美的濺射。快速更換的靶材設計並可使用多種金屬靶材（Au，Au，Pd…），標準靶材為金。
4. 電流控制器允許獨立選擇濺射電流和氬氣壓力。覆蓋率和晶粒尺寸針對任何標本都進行了優化。
5. 安全聯鎖濺射系統電流完全可變；設置濺射電流不受真空度的影響。建議使用可選的膜厚測量儀，以精確測量濺鍍沉積厚度。

108C Auto 自動碳塗層機特色

1. 使用了新穎的蒸發裝置。電流和電壓由磁頭中的傳感器線監控，以蒸發源作為反饋迴路的一部分進行控制。該供應使常規的碳棒源具有出色的穩定性和可重複性。功耗低，並且具有出色的重啟特性，蒸發源可以“脈衝”或“連續”模式操作。
2. 提供手動或自動操作選擇。在自動模式下，蒸發源在設定的時間內作為設定的電壓工作。
   只需對編程控制器進行調整，以數位顯示方式顯示電壓和時間。
   在手動模式下，獨特的 108C Auto Carbon Coater 可通過旋轉控制設置輸出電壓，以 “脈衝” 或 “連續” 方式操作，
3. 可以配備可選的 MTM-10 膜厚測量儀。 碳的分辨率優於 0.1nm，在 15nm 至 25nm 的有用範圍內，使用測量儀和蒸發控制器可使塗層厚度的重覆性優於 5％。